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      PVD是指在真空条件下,采用低电压、大电流的电弧放电技术,利用气体放电使靶材蒸发并使被蒸发物质与气体都发生电离,利用电场的加速作用,使被蒸发物质及其反应产物沉积在工件上。是由汽化形成所需的膜材料(在溅射靶)凝结到基板(玻璃板,薄膜太阳能电池等)。该涂层技术包括纯粹的物理过程,冷凝或等离子溅射轰击高温真空蒸发,而不涉及化学反应在表面化学气相沉积【更多
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